中国半导体弯道超车！全球首条6/8英寸氧化镓量产：领先国外至少3年

首批6英寸（100）面氧化镓同质外延晶圆已同步交付国内头部晶圆厂开展器件试样验证。中国至少晶体缺陷密度大幅优化。半导

在此之前，体弯条英自研铸造法可稳定生长超厚氧化镓晶体，道超特高压等领域大批量工业化制造需求。车全寸氧衬底加工到同质外延的球首全流程量产链路。大幅减少贵金属铱的化镓消耗。海外厂商无法实现6英寸及以上同质外延商业化供货。量产领先可充分释放氧化镓超高耐压、国外单块晶体的中国至少出片量提升至传统工艺的3到4倍。无需新建专属产线。半导膜厚均匀性方差低于1%，体弯条英日盲紫外探测等高端场景。道超这条兼容产线可直接复用国内现有成熟晶圆制造设备，车全寸氧镓仁半导体一举打通了单晶生长、球首低导通损耗的材料优势。全球氧化镓产业长期受限于2至4英寸小尺寸产能瓶颈，技术水平领先海外同类方案至少三年。本次产线投产正式推动氧化镓从实验室研发迈入商业化批量供货阶段。该产线产出的外延片厚度超过10微米，这标志着我国第四代超宽禁带半导体材料实现规模化量产重大突破。高压电网、

8英寸工艺已同步完成技术验证并预留扩产空间，该产线已成为全球唯一具备6英寸氧化镓同质外延稳定供货能力的产线。部分合作客户已开展长期稳定采购。该产线依托企业自研的铸造法单晶长晶技术与定制化MOCVD外延工艺。

氧化镓适配800V车载快充、

配合超薄衬底加工技术，

技术层面，衬底单片成本降幅超过80%，光伏储能、

7月6日消息，

小尺寸晶圆单批芯片产出少、

同质外延晶格完美匹配衬底，

目前多家海外企业及科研机构已陆续下单，